ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಅಂಶಗಳು ಯಾವುವು?

IC ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿ ದರವು ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹವಾಗಿರುವ ಗಾಳಿಯ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಸಂಖ್ಯೆಗೆ ನಿಕಟ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ. ಉತ್ತಮ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು ಧೂಳಿನ ಮೂಲದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಕಣಗಳನ್ನು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಿಂದ ದೂರ ತೆಗೆದುಕೊಂಡು ಹೋಗಿ ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು, ಅಂದರೆ, ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು IC ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಇಳುವರಿ ದರದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ವಿನ್ಯಾಸವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಸಾಧಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ: ಹಾನಿಕಾರಕ ಕಣಗಳ ಧಾರಣವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಸುಳಿಯ ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ ಅಥವಾ ತೆಗೆದುಹಾಕಿ; ಅಡ್ಡ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ಧನಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಿ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ

ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ತತ್ವದ ಪ್ರಕಾರ, ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಬಲಗಳಲ್ಲಿ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಬಲ, ಆಣ್ವಿಕ ಬಲ, ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ಆಕರ್ಷಣೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ: ಕಣಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಹರಿವಿನ ದರದೊಂದಿಗೆ ವಿತರಣೆ, ರಿಟರ್ನ್ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಕೃತಕ ಸ್ಫೂರ್ತಿದಾಯಕ ಮತ್ತು ಇತರ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯ ಪರಿಸರದ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವು ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಚಲನೆಯಲ್ಲಿ, ಕಣಗಳು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಚಲನೆಯನ್ನು ಬಹುತೇಕ ಒಂದೇ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ. ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿನ ಕಣಗಳ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒಳಾಂಗಣ ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವುಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸೇರಿವೆ: ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು (ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ದ್ವಿತೀಯಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಸೇರಿದಂತೆ), ಜನರು ನಡೆಯುವುದರಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು. ವಿಭಿನ್ನ ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನಗಳು, ವೇಗ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳು, ನಿರ್ವಾಹಕರು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರೇರಿತ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಅಂಶಗಳು

1. ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನದ ಪ್ರಭಾವ

(1). ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ವೇಗ

ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಏಕಮುಖ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ವೇಗವು ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು; ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಸತ್ತ ವಲಯವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು; ಮತ್ತು ULPA ಯಲ್ಲಿನ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು ಸಹ ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು.

ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ವೇಗ: ಅಂದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಅಸಮಾನತೆಯನ್ನು ±20% ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಡೆಡ್ ಝೋನ್: ULPA ಫ್ರೇಮ್‌ನ ಪ್ಲೇನ್ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ಅನಗತ್ಯ ಫ್ರೇಮ್ ಅನ್ನು ಸರಳಗೊಳಿಸಲು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ FFU ಅನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬೇಕು.

ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತದ ಆಯ್ಕೆಯು ಸಹ ಬಹಳ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ, ಫಿಲ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿನ ಒತ್ತಡದ ನಷ್ಟವು ವಿಚಲನಗೊಳ್ಳಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ.

(2). FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ನಡುವಿನ ಹೋಲಿಕೆ.

FFU ಎಂಬುದು ಫ್ಯಾನ್ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್ (ULPA) ಹೊಂದಿರುವ ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಘಟಕವಾಗಿದೆ. FFU ನ ಕೇಂದ್ರಾಪಗಾಮಿ ಫ್ಯಾನ್ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಂಡ ನಂತರ, ಡೈನಾಮಿಕ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಗಾಳಿಯ ನಾಳದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ULPA ನಿಂದ ಸಮವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸೀಲಿಂಗ್ ಮೇಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ಒತ್ತಡವು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಿದಾಗ ಯಾವುದೇ ಧೂಳು ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಗೆ ಸೋರಿಕೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಗಾಳಿ ಹೊರಹರಿವಿನ ಏಕರೂಪತೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಮತ್ತು ವಾತಾಯನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೂಚ್ಯಂಕದ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ. ಏಕೆಂದರೆ FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ. FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಬಳಕೆಯು ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಉತ್ತಮವಾಗಿ ಸಂಘಟಿಸಬಹುದು.

(3) FFU ನ ಸ್ವಂತ ರಚನೆಯ ಪ್ರಭಾವ

FFU ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫ್ಯಾನ್‌ಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ಏರ್‌ಫ್ಲೋ ಗೈಡ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ. ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಎಫಿಷಿಯೆನ್ಸಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ULPA ಎಂಬುದು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಸಾಧಿಸಬಹುದೇ ಎಂಬುದಕ್ಕೆ ಪ್ರಮುಖ ಖಾತರಿಯಾಗಿದೆ. ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ವಸ್ತುವು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಏಕರೂಪತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಒರಟಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ವಸ್ತು ಅಥವಾ ಲ್ಯಾಮಿನಾರ್ ಫ್ಲೋ ಪ್ಲೇಟ್ ಅನ್ನು ಫಿಲ್ಟರ್ ಔಟ್‌ಲೆಟ್‌ಗೆ ಸೇರಿಸಿದಾಗ, ಔಟ್‌ಲೆಟ್ ಫ್ಲೋ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಏಕರೂಪಗೊಳಿಸಬಹುದು.

2. ಶುಚಿತ್ವದ ವಿಭಿನ್ನ ವೇಗದ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳ ಪರಿಣಾಮ

ULPA ಔಟ್ಲೆಟ್ ನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ವೇಗದಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದಿಂದಾಗಿ, ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನ ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶ ಮತ್ತು ಕೆಲಸ ಮಾಡದ ಪ್ರದೇಶದ ನಡುವೆ ಇರುವ ಅದೇ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ನಲ್ಲಿ ಮಿಶ್ರ ಸುಳಿಯ ಪರಿಣಾಮ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಈ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆಯ ತೀವ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಲಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಕಣಗಳು ಉಪಕರಣದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸಬಹುದು.

3. ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಪರಿಣಾಮ

ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿ ಖಾಲಿಯಾಗಿರುವಾಗ, ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ. ಉಪಕರಣಗಳು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ, ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಚಲಿಸಿದಾಗ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ರವಾನೆಯಾದಾಗ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಗೆ ಅನಿವಾರ್ಯವಾಗಿ ಅಡೆತಡೆಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಉಪಕರಣದ ಚಾಚಿಕೊಂಡಿರುವ ಮೂಲೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಅಂಚುಗಳಲ್ಲಿ, ಅನಿಲವನ್ನು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ವಲಯವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತಿರುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಲಯದಲ್ಲಿನ ದ್ರವವನ್ನು ಅನಿಲವು ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಾಗಿಸುವುದಿಲ್ಲ, ಹೀಗಾಗಿ ಮಾಲಿನ್ಯ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದಾಗಿ ಉಪಕರಣದ ಮೇಲ್ಮೈ ಬಿಸಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಇಳಿಜಾರು ಯಂತ್ರದ ಬಳಿ ಮರು ಹರಿವಿನ ವಲಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಮರು ಹರಿವಿನ ವಲಯದಲ್ಲಿ ಕಣಗಳ ಸಂಗ್ರಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವು ಕಣಗಳು ಸುಲಭವಾಗಿ ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ದ್ವಿ ಪರಿಣಾಮವು ಒಟ್ಟಾರೆ ಲಂಬವಾದ ಲ್ಯಾಮಿನಾರ್ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಕಷ್ಟವನ್ನು ಉಲ್ಬಣಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿರುವ ನಿರ್ವಾಹಕರಿಂದ ಬರುವ ಧೂಳು ಈ ಮರು ಹರಿವಿನ ವಲಯಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವುದು ತುಂಬಾ ಸುಲಭ.

4. ರಿಟರ್ನ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋರ್ ನ ಪ್ರಭಾವ

ನೆಲದ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುವ ಹಿಂತಿರುಗುವ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರತಿರೋಧವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದಾಗ, ಒತ್ತಡದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಗಾಳಿಯು ಕಡಿಮೆ ಪ್ರತಿರೋಧದ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಹರಿಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಪಡೆಯಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಪ್ರಸ್ತುತ ಜನಪ್ರಿಯ ವಿನ್ಯಾಸ ವಿಧಾನವು ಎತ್ತರದ ಮಹಡಿಗಳನ್ನು ಬಳಸುವುದು. ಎತ್ತರದ ಮಹಡಿಗಳ ಆರಂಭಿಕ ದರವು 10% ಆಗಿದ್ದರೆ, ಕೋಣೆಯ ಕೆಲಸದ ಎತ್ತರದಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವೇಗವನ್ನು ಸಮವಾಗಿ ವಿತರಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ನೆಲದ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೂಲವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಕೆಲಸಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಿನ ಗಮನ ನೀಡಬೇಕು.

5. ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನ

ಏಕರೂಪದ ಹರಿವಿನ ವಿರುದ್ಧ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಧೂಳು ಅಥವಾ ಪಕ್ಕದ ಕಲುಷಿತ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿನ ಧೂಳು ಗಾಳಿ ಬೀಸುವ ಕಡೆಗೆ ಪ್ರಚೋದಿಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಧೂಳು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಸಂಭವನೀಯ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

(1). ಬ್ಲೈಂಡ್ ಪ್ಲೇಟ್

ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಗೋಡೆಯ ಮೇಲಿನ ಕೀಲುಗಳಿಂದಾಗಿ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಬ್ಲೈಂಡ್ ಪ್ಲೇಟ್‌ಗಳು ಇರುತ್ತವೆ, ಅದು ಸ್ಥಳೀಯ ರಿಟರ್ನ್ ಹರಿವಿನಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆಯನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

(2). ದೀಪಗಳು

ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿರುವ ಬೆಳಕಿನ ನೆಲೆವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತವೆ. ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪಗಳ ಶಾಖವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರಿಂದ, ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಯಾವುದೇ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಪ್ರದೇಶವಿರುವುದಿಲ್ಲ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿರುವ ದೀಪಗಳನ್ನು ಕಣ್ಣೀರಿನ ಹನಿ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದ್ದು, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಮೇಲೆ ದೀಪಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

(3.) ಗೋಡೆಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂತರಗಳು

ವಿಭಿನ್ನ ಶುಚಿತ್ವ ಮಟ್ಟಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವಿಭಾಗಗಳ ನಡುವೆ ಅಥವಾ ವಿಭಾಗಗಳು ಮತ್ತು ಛಾವಣಿಗಳ ನಡುವೆ ಅಂತರಗಳಿದ್ದಾಗ, ಕಡಿಮೆ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶದಿಂದ ಧೂಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪಕ್ಕದ ಪ್ರದೇಶಕ್ಕೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು.

(4). ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರ

ಯಂತ್ರ ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರವು ತುಂಬಾ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದರೆ, ಅದು ರಿಬೌಂಡ್ ಟರ್ಬುಲೆನ್ಸ್ ಅನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ಗೋಡೆಯ ನಡುವೆ ಅಂತರವನ್ನು ಬಿಡಿ ಮತ್ತು ಯಂತ್ರವು ನೇರವಾಗಿ ನೆಲವನ್ನು ಮುಟ್ಟದಂತೆ ಯಂತ್ರವನ್ನು ಮೇಲಕ್ಕೆತ್ತಿ.