ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ VS ಫಾರ್ಮಾಸ್ಯುಟಿಕಲ್ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳು: ಯಾವುದು ಹೆಚ್ಚು ಬೇಡಿಕೆಯಿದೆ?

ಕಣ ನಿಯಂತ್ರಣ: ಸೂಕ್ಷ್ಮಜೀವಿಗಳ ವಿರುದ್ಧ ಹೋರಾಡುವುದು vs ಧೂಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು

ಔಷಧೀಯ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿನ ದೊಡ್ಡ ಬೆದರಿಕೆಯೆಂದರೆ ಸೂಕ್ಷ್ಮಜೀವಿಯ ಮಾಲಿನ್ಯ.

≥5µm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುವ ಕಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬ್ಯಾಕ್ಟೀರಿಯಾ ಅಥವಾ ಶಿಲೀಂಧ್ರಗಳ ವಾಹಕಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ನಿರ್ಣಾಯಕ ಗ್ರೇಡ್ A ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ಈ ಕಣಗಳು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಇರಬಾರದು. ಯಾವುದೇ ವಿಚಲನವು ಪೂರ್ಣ ತನಿಖೆಯನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸುತ್ತದೆ - ಸಾಕಷ್ಟು ಕ್ರಿಮಿನಾಶಕ, ಆಪರೇಟರ್ ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಥವಾ ಉಪಕರಣಗಳ ಸತ್ತ ವಲಯಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗಿರಬಹುದು.

ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ, ನಿಜವಾದ ಶತ್ರು ಅತಿ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳು.

3nm ಅಥವಾ 5nm ನಂತಹ ಮುಂದುವರಿದ ನೋಡ್‌ಗಳಲ್ಲಿ, 0.1µm ಅಥವಾ 0.05µm ನಂತಹ ಸಣ್ಣ ಕಣಗಳು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸಬಹುದು. ಈ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ವೇಫರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ಮಾರಕ ದೋಷಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡಬಹುದು. ಕುತೂಹಲಕಾರಿಯಾಗಿ, ದೊಡ್ಡ ಕಣಗಳು (≥5µm) ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಉಲ್ಲೇಖ ಸೂಚಕಗಳಾಗಿ ಮಾತ್ರ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಸರಳ ಪದಗಳಲ್ಲಿ:

➤ಔಷಧೀಯ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಕೊಠಡಿಗಳು "ಒಳನುಗ್ಗುವವರನ್ನು" (ಸೂಕ್ಷ್ಮಜೀವಿಗಳು) ಹಿಡಿಯುತ್ತಿವೆ.

➤ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳು "ಧೂಳು" (ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳು) ವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತಿವೆ.

ಒಬ್ಬ ಒಳನುಗ್ಗುವವನು ಜೀವಕ್ಕೆ ಅಪಾಯಕಾರಿ ಘಟನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಒಂದು ಸಣ್ಣ ಕಣವು ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಹಾಳುಮಾಡಬಹುದು.

 

ಮುಖ್ಯ ಉದ್ದೇಶ: ರೋಗಿಯ ಸುರಕ್ಷತೆ vs ಇಳುವರಿ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್

ಮೂಲಭೂತ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಅಂತಿಮ ಗುರಿಗಳಲ್ಲಿದೆ.

ಔಷಧೀಯ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳು: ಸುರಕ್ಷತೆ ಮೊದಲು

ಪ್ರತಿಯೊಂದು ಔಷಧ ಉತ್ಪನ್ನವು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಮಾನವ ದೇಹವನ್ನು ಪ್ರವೇಶಿಸುತ್ತದೆ. ಯಾವುದೇ ಸೂಕ್ಷ್ಮಜೀವಿಯ ಮಾಲಿನ್ಯವು ಗಂಭೀರ ವೈದ್ಯಕೀಯ ಪರಿಣಾಮಗಳಿಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಔಷಧೀಯ ಸ್ವಚ್ಛತಾ ಕೊಠಡಿಗಳು ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ GMP (ಉತ್ತಮ ಉತ್ಪಾದನಾ ಅಭ್ಯಾಸ) ನಿಯಮಗಳಿಂದ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ.

ವಿನ್ಯಾಸ, ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ದೃಢೀಕರಣ ಎಲ್ಲವನ್ನೂ ಬಿಗಿಯಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅನುಸರಣೆಯು ಮಾತುಕತೆಗೆ ಒಳಪಡುವುದಿಲ್ಲ.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳು: ಮೊದಲು ಇಳುವರಿ ನೀಡಿ

ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸಂಪೂರ್ಣ ಶೂನ್ಯ ಮಾಲಿನ್ಯ ಅಸಾಧ್ಯ. ಬದಲಾಗಿ, ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸುವ ಗುರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ - ವೆಚ್ಚ ದಕ್ಷತೆಯೊಂದಿಗೆ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಸಮತೋಲನಗೊಳಿಸುವುದು.

ISO ಮತ್ತು SEMI ನಂತಹ ಮಾನದಂಡಗಳು ಮಾರ್ಗಸೂಚಿಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ಆದರೆ ಕಂಪನಿಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನೋಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಆರ್ಥಿಕ ಪರಿಗಣನೆಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಲು ನಮ್ಯತೆಯನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ.

ಪ್ರಮುಖ ವ್ಯತ್ಯಾಸ:

➤ಫಾರ್ಮಾ: "ವೈಫಲ್ಯವು ಜೀವಕ್ಕೆ ಅಪಾಯವನ್ನುಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ."

➤ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್: "ವೈಫಲ್ಯಕ್ಕೆ ಹಣ ಖರ್ಚಾಗುತ್ತದೆ."

 

ಪರಿಸರ ನಿಯಂತ್ರಣ: ಪ್ರತ್ಯೇಕತೆ vs ಅತ್ಯುತ್ತಮೀಕರಣ

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ

ಅಡ್ಡ-ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಔಷಧೀಯ ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಿಗೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಒತ್ತಡ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10–15 Pa) ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಒತ್ತಡ ವಿಫಲವಾದರೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ನಿಮಿಷಗಳಲ್ಲಿ ಎಚ್ಚರಿಕೆಗಳನ್ನು ಪ್ರಚೋದಿಸಬೇಕು, ಏಕೆಂದರೆ ಹಿಮ್ಮುಖ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಸಂಪೂರ್ಣ ಬ್ಯಾಚ್‌ಗಳನ್ನು ರಾಜಿ ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳು ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯ ದಕ್ಷತೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತವೆ. FFU (ಫ್ಯಾನ್ ಫಿಲ್ಟರ್ ಯೂನಿಟ್) ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು, ಅವು ಹೆಚ್ಚು ಸಡಿಲವಾದ ಒತ್ತಡದ ಇಳಿಜಾರುಗಳೊಂದಿಗೆ (2–5 Pa) ಲಂಬವಾದ ಲ್ಯಾಮಿನಾರ್ ಹರಿವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ಇದನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವೇರಿಯಬಲ್ ಆವರ್ತನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ಮೂಲಕ ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ತಾಪಮಾನ, ಆರ್ದ್ರತೆ ಮತ್ತು AMC

ಔಷಧೀಯ ಪರಿಸರಗಳಲ್ಲಿ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಆರ್ದ್ರತೆಯು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಆಪರೇಟರ್ ಸೌಕರ್ಯ ಮತ್ತು ಸೂಕ್ಷ್ಮಜೀವಿಯ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಮುಖ್ಯವಾದರೂ, ನಿಖರತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಮಧ್ಯಮವಾಗಿರುತ್ತವೆ.

ಅರೆವಾಹಕ ಫ್ಯಾಬ್‌ಗಳಲ್ಲಿ, ಪರಿಸರ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ-ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ.

ಉದಾಹರಣೆಗೆ:

➤ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ 22°C ±0.3°C ಬೇಕಾಗಬಹುದು

➤ಸ್ವಲ್ಪ ಏರಿಳಿತಗಳು ಸಹ ರೇಖೆಯ ಅಗಲದ ನಿಖರತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು.

ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣವಾದದ್ದು AMC (ವಾಯುಗಾಮಿ ಆಣ್ವಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯ) ನಿಯಂತ್ರಣ:

➤ ಆಮ್ಲಗಳು ಅಥವಾ ಅಮೋನಿಯದ ಜಾಡಿನ ಮಟ್ಟವನ್ನು ppb (ಪ್ರತಿ ಬಿಲಿಯನ್‌ಗೆ ಭಾಗಗಳು) ಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಇಡಬೇಕು.

➤ಕನಿಷ್ಠ ರಾಸಾಯನಿಕ ಮಾಲಿನ್ಯವು ಸಹ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ದೃಗ್ವಿಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ಅಡ್ಡಿಪಡಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.

ಔಷಧೀಯ ಸ್ವಚ್ಛತಾ ಕೊಠಡಿಗಳಲ್ಲಿ ಈ ಮಟ್ಟದ ರಾಸಾಯನಿಕ ನಿಯಂತ್ರಣವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಇರುವುದಿಲ್ಲ.