ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಒಳಹರಿವಿನ ಅಂಶಗಳು ಯಾವುವು?

ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿಯು ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹವಾಗಿರುವ ಗಾಳಿಯ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಸಂಖ್ಯೆಗೆ ನಿಕಟ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ. ಉತ್ತಮ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು ಧೂಳಿನ ಮೂಲಗಳಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಕಣಗಳನ್ನು ಶುದ್ಧ ಕೊಠಡಿಯಿಂದ ದೂರ ತೆಗೆದುಕೊಂಡು ಹೋಗಿ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಅಂದರೆ, ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಇಳುವರಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಯ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಸಾಧಿಸಬೇಕಾದ ಗುರಿಗಳು: ಹಾನಿಕಾರಕ ಕಣಗಳ ಧಾರಣವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಸುಳಿ ಪ್ರವಾಹಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಅಥವಾ ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು; ಅಡ್ಡ-ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ಧನಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು.

ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯ ತತ್ವದ ಪ್ರಕಾರ, ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಬಲಗಳಲ್ಲಿ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಬಲ, ಆಣ್ವಿಕ ಬಲ, ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ಆಕರ್ಷಣೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿವೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ: ಪೂರೈಕೆ ಮತ್ತು ರಿಟರ್ನ್ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಕೃತಕ ಆಂದೋಲನ ಮತ್ತು ಕಣಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಹರಿವಿನ ದರದೊಂದಿಗೆ ಇತರ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ಪರಿಸರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವು ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಚಲನೆಯಲ್ಲಿ, ಕಣಗಳು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಬಹುತೇಕ ಒಂದೇ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ. ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿರುವ ಕಣಗಳ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಒಳಾಂಗಣ ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಮುಖ್ಯ ಪರಿಣಾಮಗಳು: ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು (ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ದ್ವಿತೀಯಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಸೇರಿದಂತೆ), ಜನರು ನಡೆಯುವುದರಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಭಾವ. ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನ ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನಗಳು, ವೇಗ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ಗಳು, ನಿರ್ವಾಹಕರು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ಪ್ರೇರಿತ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಶುಚಿತ್ವದ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ.

1. ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನದ ಪ್ರಭಾವ

(1) ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ವೇಗ

ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನ ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ವೇಗವು ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು; ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸತ್ತ ವಲಯವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು; ಮತ್ತು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನೊಳಗಿನ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು ಸಹ ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು.

ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ವೇಗವು ಏಕರೂಪವಾಗಿರುತ್ತದೆ: ಅಂದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಅಸಮಾನತೆಯನ್ನು ± 20% ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಡೆಡ್ ಸ್ಪೇಸ್ ಇದೆ: ಹೆಪಾ ಫ್ರೇಮ್‌ನ ಪ್ಲೇನ್ ವಿಸ್ತೀರ್ಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ಅನಗತ್ಯ ಫ್ರೇಮ್ ಅನ್ನು ಸರಳಗೊಳಿಸಲು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ FFU ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಲಂಬ ಮತ್ತು ಏಕಮುಖವಾಗಿರುವುದನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತದ ಆಯ್ಕೆಯು ಸಹ ಬಹಳ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ನೊಳಗಿನ ಒತ್ತಡದ ನಷ್ಟವನ್ನು ಪಕ್ಷಪಾತ ಮಾಡಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ ಎಂಬುದು ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

(2) FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ನಡುವಿನ ಹೋಲಿಕೆ

FFU ಎಂಬುದು ಫ್ಯಾನ್ ಮತ್ತು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಹೊಂದಿರುವ ಗಾಳಿ ಪೂರೈಕೆ ಘಟಕವಾಗಿದೆ. FFU ನ ಕೇಂದ್ರಾಪಗಾಮಿ ಫ್ಯಾನ್ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡೈನಾಮಿಕ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಗಾಳಿಯ ನಾಳದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ. ಇದನ್ನು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮೂಲಕ ಸಮವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸೀಲಿಂಗ್ ಮೇಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ಒತ್ತಡವು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಈ ರೀತಿಯಾಗಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವಾಗ ಯಾವುದೇ ಧೂಳು ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಗೆ ಸೋರಿಕೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಗಾಳಿಯ ಔಟ್ಲೆಟ್ ಏಕರೂಪತೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಮತ್ತು ವಾತಾಯನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೂಚ್ಯಂಕದ ವಿಷಯದಲ್ಲಿ FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ. ಏಕೆಂದರೆ FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ. FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಬಳಕೆಯು ಶುದ್ಧ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

(3) FFU ನ ಸ್ವಂತ ರಚನೆಯ ಪ್ರಭಾವ

FFU ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫ್ಯಾನ್‌ಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ. ವಿನ್ಯಾಸಕ್ಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಗೆ ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖ ಖಾತರಿಯಾಗಿದೆ. ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ವಸ್ತುವು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಏಕರೂಪತೆಯ ಮೇಲೆ ಸಹ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಫಿಲ್ಟರ್ ಔಟ್‌ಲೆಟ್‌ಗೆ ಒರಟಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ವಸ್ತು ಅಥವಾ ಹರಿವಿನ ತಟ್ಟೆಯನ್ನು ಸೇರಿಸಿದಾಗ, ಔಟ್‌ಲೆಟ್ ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಏಕರೂಪಗೊಳಿಸಬಹುದು.

2. ವಿಭಿನ್ನ ಶುಚಿತ್ವದೊಂದಿಗೆ ವೇಗ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ನ ಪರಿಣಾಮ

ಅದೇ ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಕೆಲಸದ ಪ್ರದೇಶ ಮತ್ತು ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನೊಂದಿಗೆ ಕೆಲಸ ಮಾಡದ ಪ್ರದೇಶದ ನಡುವೆ, ಹೆಪಾ ಬಾಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ವೇಗದಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದಿಂದಾಗಿ, ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಮಿಶ್ರ ಸುಳಿಯ ಪರಿಣಾಮ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಲಯವಾಗುತ್ತದೆ. ಗಾಳಿಯ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆಯ ತೀವ್ರತೆಯು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಕಣಗಳು ಉಪಕರಣ ಯಂತ್ರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸಬಹುದು.

3. ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮೇಲಿನ ಪರಿಣಾಮ

ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿ ಖಾಲಿಯಾಗಿರುವಾಗ, ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ. ಉಪಕರಣಗಳು ಸ್ವಚ್ಛ ಕೊಠಡಿಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ, ಜನರು ಸ್ಥಳಾಂತರಗೊಳ್ಳುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಸಲಕರಣೆ ಯಂತ್ರದಿಂದ ಚಾಚಿಕೊಂಡಿರುವ ತೀಕ್ಷ್ಣವಾದ ಬಿಂದುಗಳಂತಹ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಗೆ ಅನಿವಾರ್ಯವಾಗಿ ಅಡೆತಡೆಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ. ಮೂಲೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಅಂಚುಗಳಲ್ಲಿ, ಅನಿಲವು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಹರಿವಿನ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತಿರುಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿನ ದ್ರವವು ಒಳಬರುವ ಅನಿಲದಿಂದ ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಾಗಿಸಲ್ಪಡುವುದಿಲ್ಲ, ಹೀಗಾಗಿ ಮಾಲಿನ್ಯ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.

ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯಿಂದಾಗಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಬಿಸಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಇಳಿಜಾರು ಯಂತ್ರದ ಬಳಿ ಮರುಹರಿವಿನ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಮರುಹರಿವಿನ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಣಗಳ ಸಂಗ್ರಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವು ಕಣಗಳು ಸುಲಭವಾಗಿ ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ದ್ವಿ ಪರಿಣಾಮವು ಒಟ್ಟಾರೆ ಲಂಬ ಪದರವನ್ನು ತೀವ್ರಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ತೊಂದರೆ. ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾಹಕರಿಂದ ಬರುವ ಧೂಳು ಈ ಮರುಹರಿವಿನ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್‌ಗಳಿಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

4. ರಿಟರ್ನ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋರ್ ನ ಪ್ರಭಾವ

ನೆಲದ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುವ ಹಿಂತಿರುಗುವ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರತಿರೋಧವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದಾಗ, ಒತ್ತಡದ ವ್ಯತ್ಯಾಸ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಗಾಳಿಯು ಸಣ್ಣ ಪ್ರತಿರೋಧದ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಹರಿಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಸಿಗುವುದಿಲ್ಲ. ಪ್ರಸ್ತುತ ಜನಪ್ರಿಯ ವಿನ್ಯಾಸ ವಿಧಾನವು ಎತ್ತರದ ನೆಲವನ್ನು ಬಳಸುವುದು. ಎತ್ತರದ ಮಹಡಿಯ ಆರಂಭಿಕ ಅನುಪಾತವು 10% ನಲ್ಲಿದ್ದಾಗ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವೇಗವನ್ನು ಒಳಾಂಗಣ ಕೆಲಸದ ಎತ್ತರದಲ್ಲಿ ಸಮವಾಗಿ ವಿತರಿಸಬಹುದು. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ನೆಲದ ಮೇಲಿನ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೂಲವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಕೆಲಸಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಿನ ಗಮನ ನೀಡಬೇಕು.

5. ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನ

ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನ ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ವಿದ್ಯಮಾನವು ಏಕರೂಪದ ಹರಿವಿಗೆ ವಿರುದ್ಧ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ವಿದ್ಯಮಾನವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ, ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಧೂಳನ್ನು ಅಥವಾ ಪಕ್ಕದ ಕಲುಷಿತ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಧೂಳನ್ನು ಗಾಳಿ ಬೀಸುವ ಬದಿಗೆ ಪ್ರೇರೇಪಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಧೂಳು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಸಂಭಾವ್ಯ ಪ್ರೇರಿತ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ:

(1) ಬ್ಲೈಂಡ್ ಪ್ಲೇಟ್

ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸ್ವಚ್ಛ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಗೋಡೆಯ ಮೇಲಿನ ಕೀಲುಗಳಿಂದಾಗಿ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಕುರುಡು ಫಲಕಗಳು ಇರುತ್ತವೆ, ಅದು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಸ್ಥಳೀಯ ಹಿಮ್ಮುಖ ಹರಿವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.

(2) ದೀಪಗಳು

ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಬೆಳಕಿನ ನೆಲೆವಸ್ತುಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತವೆ. ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪದ ಶಾಖವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರಿಂದ, ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪವು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಪ್ರದೇಶವಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಸ್ವಚ್ಛವಾದ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿರುವ ದೀಪಗಳನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಮೇಲೆ ದೀಪಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಕಣ್ಣೀರಿನ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

(3) ಗೋಡೆಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂತರಗಳು

ವಿಭಿನ್ನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ವಿಭಜನಾ ಗೋಡೆಗಳು ಅಥವಾ ಛಾವಣಿಗಳ ನಡುವೆ ಅಂತರಗಳಿದ್ದಾಗ, ಕಡಿಮೆ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಧೂಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪಕ್ಕದ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು.

(4) ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರ

ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದರೆ, ರಿಬೌಂಡ್ ಟರ್ಬುಲೆನ್ಸ್ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ಗೋಡೆಯ ನಡುವೆ ಅಂತರವನ್ನು ಬಿಡಿ ಮತ್ತು ನೆಲದೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಯಂತ್ರ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಮೇಲಕ್ಕೆತ್ತಿ.