ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಪ್ರಭಾವದ ಅಂಶಗಳು ಯಾವುವು?

ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿನ ಚಿಪ್ ಇಳುವರಿಯು ಚಿಪ್‌ನಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿಯಾಗಿರುವ ಗಾಳಿಯ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರ ಮತ್ತು ಸಂಖ್ಯೆಗೆ ನಿಕಟ ಸಂಬಂಧ ಹೊಂದಿದೆ.ಉತ್ತಮ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು ಧೂಳಿನ ಮೂಲಗಳಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಕಣಗಳನ್ನು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಿಂದ ದೂರ ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳಬಹುದು ಮತ್ತು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಂನ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.ಅಂದರೆ, ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯು ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಇಳುವರಿಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ಏರ್ ಫ್ಲೋ ಸಂಸ್ಥೆಯ ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಸಾಧಿಸಬೇಕಾದ ಗುರಿಗಳೆಂದರೆ: ಹಾನಿಕಾರಕ ಕಣಗಳ ಧಾರಣವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಎಡ್ಡಿ ಪ್ರವಾಹಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಅಥವಾ ತೆಗೆದುಹಾಕಲು;ಅಡ್ಡ-ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ಧನಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸಲು.

ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ತತ್ವದ ಪ್ರಕಾರ, ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಶಕ್ತಿಗಳು ಸಮೂಹ ಬಲ, ಆಣ್ವಿಕ ಬಲ, ಕಣಗಳ ನಡುವಿನ ಆಕರ್ಷಣೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲ: ಪೂರೈಕೆ ಮತ್ತು ಹಿಂತಿರುಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು, ಕೃತಕ ಆಂದೋಲನ ಮತ್ತು ಕಣಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಹರಿವಿನ ದರದೊಂದಿಗೆ ಇತರ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವುಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ.ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ಪರಿಸರ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ನಿಯಂತ್ರಣಕ್ಕಾಗಿ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಬಲವು ಪ್ರಮುಖ ಅಂಶವಾಗಿದೆ.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಚಲನೆಯಲ್ಲಿ, ಕಣಗಳು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಬಹುತೇಕ ಅದೇ ವೇಗದಲ್ಲಿ ಅನುಸರಿಸುತ್ತವೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ.ಗಾಳಿಯಲ್ಲಿನ ಕಣಗಳ ಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಒಳಾಂಗಣ ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಮುಖ್ಯ ಪರಿಣಾಮಗಳು ಸೇರಿವೆ: ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು (ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ದ್ವಿತೀಯಕ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಸೇರಿದಂತೆ), ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸಂವಹನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಜನರು ನಡೆಯುವುದರಿಂದ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಣಗಳ ಮೇಲೆ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರಭಾವ.ವಿವಿಧ ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನಗಳು, ವೇಗದ ಸಂಪರ್ಕಸಾಧನಗಳು, ನಿರ್ವಾಹಕರು ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಉಪಕರಣಗಳು, ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರಚೋದಿತ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಸ್ವಚ್ಛತೆಯ ಮಟ್ಟವನ್ನು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವ ಎಲ್ಲಾ ಅಂಶಗಳಾಗಿವೆ.

1. ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವಿಧಾನದ ಪ್ರಭಾವ

(1) ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ವೇಗ

ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನ ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ವೇಗವು ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು;ವಾಯು ಪೂರೈಕೆ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸತ್ತ ವಲಯವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿರಬೇಕು;ಮತ್ತು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್‌ನೊಳಗಿನ ಒತ್ತಡದ ಕುಸಿತವು ಏಕರೂಪವಾಗಿರಬೇಕು.

ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆ ವೇಗವು ಏಕರೂಪವಾಗಿದೆ: ಅಂದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಅಸಮಾನತೆಯನ್ನು ± 20% ಒಳಗೆ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಗಾಳಿಯ ಸರಬರಾಜು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಸ್ಥಳಾವಕಾಶವಿದೆ: ಹೆಪಾ ಚೌಕಟ್ಟಿನ ಸಮತಲ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಕಡಿಮೆಗೊಳಿಸುವುದು ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ, ಅನಗತ್ಯ ಚೌಕಟ್ಟನ್ನು ಸರಳಗೊಳಿಸಲು ಮಾಡ್ಯುಲರ್ FFU ಅನ್ನು ಬಳಸಬೇಕು.

ಗಾಳಿಯ ಹರಿವು ಲಂಬ ಮತ್ತು ಏಕಮುಖವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ನ ಒತ್ತಡದ ಡ್ರಾಪ್ ಆಯ್ಕೆಯು ಸಹ ಬಹಳ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಟರ್‌ನೊಳಗಿನ ಒತ್ತಡದ ನಷ್ಟವನ್ನು ಪಕ್ಷಪಾತ ಮಾಡಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ.

(2) FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ನಡುವಿನ ಹೋಲಿಕೆ

FFU ಒಂದು ಫ್ಯಾನ್ ಮತ್ತು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಹೊಂದಿರುವ ಏರ್ ಪೂರೈಕೆ ಘಟಕವಾಗಿದೆ.FFU ನ ಕೇಂದ್ರಾಪಗಾಮಿ ಫ್ಯಾನ್‌ನಿಂದ ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಡೈನಾಮಿಕ್ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಗಾಳಿಯ ನಾಳದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರ ಒತ್ತಡವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ.ಇದನ್ನು ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಮೂಲಕ ಸಮವಾಗಿ ಹೊರಹಾಕಲಾಗುತ್ತದೆ.ಚಾವಣಿಯ ಮೇಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಪೂರೈಕೆಯ ಒತ್ತಡವು ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡವಾಗಿದೆ.ಈ ರೀತಿಯಾಗಿ ಫಿಲ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಬದಲಿಸಿದಾಗ ಯಾವುದೇ ಧೂಳು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ಗೆ ಸೋರಿಕೆಯಾಗುವುದಿಲ್ಲ.ಏರ್ ಔಟ್ಲೆಟ್ ಏಕರೂಪತೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆ ಮತ್ತು ವಾತಾಯನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೂಚ್ಯಂಕದಲ್ಲಿ FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಅಕ್ಷೀಯ ಹರಿವಿನ ಫ್ಯಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಿಂತ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಎಂದು ಪ್ರಯೋಗಗಳು ತೋರಿಸಿವೆ.FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಮಾನಾಂತರತೆಯು ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ ಎಂಬುದು ಇದಕ್ಕೆ ಕಾರಣ.FFU ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಬಳಕೆಯು ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು.

(3) FFU ನ ಸ್ವಂತ ರಚನೆಯ ಪ್ರಭಾವ

FFU ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಫ್ಯಾನ್‌ಗಳು, ಫಿಲ್ಟರ್‌ಗಳು, ಏರ್ ಫ್ಲೋ ಗೈಡ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ.ವಿನ್ಯಾಸದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ಗೆ ಹೆಪಾ ಫಿಲ್ಟರ್ ಪ್ರಮುಖ ಖಾತರಿಯಾಗಿದೆ.ಫಿಲ್ಟರ್ನ ವಸ್ತುವು ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸಹ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.ಒರಟಾದ ಫಿಲ್ಟರ್ ವಸ್ತು ಅಥವಾ ಹರಿವಿನ ಪ್ಲೇಟ್ ಅನ್ನು ಫಿಲ್ಟರ್ ಔಟ್ಲೆಟ್ಗೆ ಸೇರಿಸಿದಾಗ, ಔಟ್ಲೆಟ್ ಹರಿವಿನ ಕ್ಷೇತ್ರವನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಏಕರೂಪವಾಗಿ ಮಾಡಬಹುದು.

2. ವಿಭಿನ್ನ ಶುಚಿತ್ವದೊಂದಿಗೆ ವೇಗ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ನ ಪರಿಣಾಮ

ಅದೇ ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನೊಂದಿಗೆ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಪ್ರದೇಶ ಮತ್ತು ಕೆಲಸ ಮಾಡದ ಪ್ರದೇಶದ ನಡುವೆ, ಹೆಪಾ ಬಾಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ವೇಗದಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸದಿಂದಾಗಿ, ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಮಿಶ್ರ ಸುಳಿಯ ಪರಿಣಾಮ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಈ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧವಾಗುತ್ತದೆ. ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವಲಯ.ಗಾಳಿಯ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆಯ ತೀವ್ರತೆಯು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಪ್ರಬಲವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಕಣಗಳು ಉಪಕರಣದ ಯಂತ್ರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹರಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸಬಹುದು.

3. ಸಿಬ್ಬಂದಿ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ

ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ ಖಾಲಿಯಾಗಿರುವಾಗ, ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತವೆ.ಉಪಕರಣಗಳು ಕ್ಲೀನ್‌ರೂಮ್‌ಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸಿದ ನಂತರ, ಜನರು ಚಲಿಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸಿದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಗೆ ಅನಿವಾರ್ಯವಾಗಿ ಅಡೆತಡೆಗಳು ಇವೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಸಲಕರಣೆ ಯಂತ್ರದಿಂದ ಚಾಚಿಕೊಂಡಿರುವ ಚೂಪಾದ ಬಿಂದುಗಳು.ಮೂಲೆಗಳಲ್ಲಿ ಅಥವಾ ಅಂಚುಗಳಲ್ಲಿ, ಅನಿಲವು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಹರಿವಿನ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತಿರುಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಒಳಬರುವ ಅನಿಲದಿಂದ ಆ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿನ ದ್ರವವನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಸಾಗಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ, ಹೀಗಾಗಿ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿರಂತರ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ ಬಿಸಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಯಂತ್ರದ ಬಳಿ ರಿಫ್ಲೋ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ರಿಫ್ಲೋ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿ ಕಣಗಳ ಸಂಗ್ರಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ.ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವು ಸುಲಭವಾಗಿ ಕಣಗಳನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.ಉಭಯ ಪರಿಣಾಮವು ಒಟ್ಟಾರೆ ಲಂಬ ಪದರವನ್ನು ತೀವ್ರಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಶುಚಿತ್ವವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ತೊಂದರೆ.ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ನಿರ್ವಾಹಕರ ಧೂಳು ಈ ರಿಫ್ಲೋ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿನ ಬಿಲ್ಲೆಗಳಿಗೆ ಸುಲಭವಾಗಿ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.

4. ರಿಟರ್ನ್ ಏರ್ ನೆಲದ ಪ್ರಭಾವ

ನೆಲದ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುವ ರಿಟರ್ನ್ ಗಾಳಿಯ ಪ್ರತಿರೋಧವು ವಿಭಿನ್ನವಾದಾಗ, ಒತ್ತಡದ ವ್ಯತ್ಯಾಸವು ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ, ಸಣ್ಣ ಪ್ರತಿರೋಧದ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯು ಹರಿಯುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕರೂಪದ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಪಡೆಯಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ.ಪ್ರಸ್ತುತ ಜನಪ್ರಿಯ ವಿನ್ಯಾಸ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ಎತ್ತರದ ನೆಲವನ್ನು ಬಳಸುವುದು.ಎತ್ತರದ ನೆಲದ ಆರಂಭಿಕ ಅನುಪಾತವು 10% ಆಗಿದ್ದರೆ, ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ವೇಗವನ್ನು ಒಳಾಂಗಣ ಕೆಲಸದ ಎತ್ತರದಲ್ಲಿ ಸಮವಾಗಿ ವಿತರಿಸಬಹುದು.ಜೊತೆಗೆ, ನೆಲದ ಮೇಲೆ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೂಲವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸುವ ಕೆಲಸಕ್ಕೆ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಗಮನ ನೀಡಬೇಕು.

5. ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನ

ಇಂಡಕ್ಷನ್ ವಿದ್ಯಮಾನ ಎಂದು ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ವಿದ್ಯಮಾನವು ಏಕರೂಪದ ಹರಿವಿಗೆ ವಿರುದ್ಧ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವ ವಿದ್ಯಮಾನವನ್ನು ಉಲ್ಲೇಖಿಸುತ್ತದೆ, ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಧೂಳನ್ನು ಅಥವಾ ಪಕ್ಕದ ಕಲುಷಿತ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಧೂಳನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಬದಿಗೆ ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಧೂಳು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಕಲುಷಿತಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.ಸಂಭವನೀಯ ಪ್ರೇರಿತ ವಿದ್ಯಮಾನಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನವುಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ:

(1) ಬ್ಲೈಂಡ್ ಪ್ಲೇಟ್

ಲಂಬವಾದ ಏಕಮುಖ ಹರಿವಿನೊಂದಿಗೆ ಒಂದು ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿ, ಗೋಡೆಯ ಮೇಲಿನ ಕೀಲುಗಳ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ದೊಡ್ಡ ಕುರುಡು ಫಲಕಗಳು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಹರಿವು ಮತ್ತು ಸ್ಥಳೀಯ ಹಿಮ್ಮುಖ ಹರಿವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತವೆ.

(2) ದೀಪಗಳು

ಕ್ಲೀನ್ ರೂಮ್ನಲ್ಲಿ ಲೈಟಿಂಗ್ ಫಿಕ್ಚರ್ಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಣಾಮವನ್ನು ಬೀರುತ್ತವೆ.ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪದ ಶಾಖವು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುವುದರಿಂದ, ಪ್ರತಿದೀಪಕ ದೀಪವು ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧ ಪ್ರದೇಶವಾಗುವುದಿಲ್ಲ.ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಕ್ಲೀನ್ ಕೋಣೆಯಲ್ಲಿನ ದೀಪಗಳನ್ನು ಗಾಳಿಯ ಹರಿವಿನ ಸಂಘಟನೆಯ ಮೇಲೆ ದೀಪಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಕಣ್ಣೀರಿನ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.

(3) ಗೋಡೆಗಳ ನಡುವಿನ ಅಂತರ

ವಿಭಜನಾ ಗೋಡೆಗಳು ಅಥವಾ ಸೀಲಿಂಗ್‌ಗಳ ನಡುವೆ ವಿಭಿನ್ನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿರುವಾಗ, ಕಡಿಮೆ ಶುಚಿತ್ವದ ಅಗತ್ಯತೆಗಳಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಂದ ಧೂಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುಚಿತ್ವದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಪಕ್ಕದ ಪ್ರದೇಶಗಳಿಗೆ ವರ್ಗಾಯಿಸಬಹುದು.

(4) ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರ

ಯಾಂತ್ರಿಕ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ನೆಲ ಅಥವಾ ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದ್ದರೆ, ಮರುಕಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ಷುಬ್ಧತೆ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ.ಆದ್ದರಿಂದ, ಉಪಕರಣ ಮತ್ತು ಗೋಡೆಯ ನಡುವಿನ ಅಂತರವನ್ನು ಬಿಡಿ ಮತ್ತು ನೆಲದೊಂದಿಗೆ ನೇರ ಸಂಪರ್ಕವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಲು ಯಂತ್ರದ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ.